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1、產(chǎn)品概述
此水溶性去蠟液專(zhuān)用于晶圓等半導(dǎo)體材料的藍(lán)寶石（wafer）研磨拋光工序后以及 LED 芯片 （wafer）背磨減薄工序后蠟的清洗和殘留油污如拋光液、細(xì)小固體顆粒等污染物清洗。 其配方經(jīng)過(guò)反復(fù)研發(fā)與優(yōu)化，融合了多種特殊的化學(xué)活性成分，無(wú)有機(jī)溶劑，尤其可完美替 代丙酮，能在不損傷芯片精密結(jié)構(gòu)與性能的前提下，快速實(shí)現(xiàn)蠟質(zhì)的溶解與剝離，確保芯片 表面達(dá)到極高的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)，為芯片后續(xù)的制造工序提供可靠保障。 2、產(chǎn)品特點(diǎn)
2.1、卓越的去蠟效能
對(duì)各類(lèi)常見(jiàn)的芯片加工用蠟，如臨時(shí)固定蠟等具有極強(qiáng)的溶解能力。能夠迅速滲透蠟質(zhì)內(nèi)部， 破壞其分子結(jié)構(gòu)，使其快速乳化、分散，在短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高效去除，顯著提升生產(chǎn)效率。
2.2、高度的材質(zhì)兼容性
充分考慮芯片制造中涉及的多種敏感材料，如硅、鍺、鋁、鎵和其化合物半導(dǎo)體以及各類(lèi)金 屬導(dǎo)線(xiàn)、絕緣層等。產(chǎn)品經(jīng)過(guò)大量嚴(yán)苛的兼容性測(cè)試，確保在有效去蠟的同時(shí)，不會(huì)對(duì)芯片 的任何組成部分造成腐蝕、氧化、溶脹或其他物理化學(xué)損傷，最大程度保障芯片的性能與良 品率。
2.3、極低的離子殘留
采用先進(jìn)的提純工藝和配方設(shè)計(jì)，去蠟液本身的離子含量極低。在清潔過(guò)程中及完成后，幾 乎不會(huì)在芯片表面殘留任何離子雜質(zhì)，有效避免因離子殘留引發(fā)的芯片短路、漏電、信號(hào)干 擾等問(wèn)題，滿(mǎn)足芯片制造對(duì)超凈環(huán)境的嚴(yán)格要求。
2.4、通過(guò)提高芯片表面潔凈度可以在一定程度上減少“膠氣污染”問(wèn)題.
2.5、環(huán)保安全
在研發(fā)過(guò)程中遵循綠色化學(xué)理念，選用環(huán)保型原料，不含有害的重金屬（如鉛、汞、鎘 等）、鹵代烴以及持久性有機(jī)污染物。產(chǎn)品氣味溫和，在使用過(guò)程中符合職業(yè)健康與安全標(biāo) 準(zhǔn)，同時(shí)也減少了對(duì)環(huán)境的污染。 3、技術(shù)參數(shù)
外觀(guān)：淡黃色透明液體
pH 值：7.5 --9.5
密度：0.9350--1.030 g/cm3
沸點(diǎn)：≥103℃
閃點(diǎn)：無(wú)（不易燃，使用安全）
4、適用范圍
適用于半導(dǎo)體、光學(xué)器件等精密行業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)中蠟垢、油污、粉塵和研磨液/拋光液的 清洗，可完美替代丙酮。
5、水溶性去蠟液 HF-DW-03A 清洗工藝建議

去蠟		漂洗			干燥
槽 1#去蠟液 溫度 50±5℃時(shí)間6分鐘超聲+擺動(dòng) 各注，	槽 2#去蠟液 溫度 50+5℃ 時(shí)間6分鐘超聲+擺動(dòng)	槽 3#QDR室溫	槽 4#QDR室溫	槽 5#IPA室溫	槽 6# Spin Dry

備注：
1、實(shí)際清洗流程可根據(jù)客戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)條件優(yōu)化。
2、去蠟液原液使用，驗(yàn)證壽命 0.35g 蠟/片，100 片 4 寸片/升設(shè)定，后期根據(jù)實(shí)際涂敷蠟 量和工藝條件而優(yōu)化。
3、槽 3 和 4 請(qǐng)用一次性去離子水，充分漂洗，洗凈去蠟液殘留。
4、去蠟液加熱到 50℃其顏色會(huì)變深，但不影響清洗能力，也不會(huì)產(chǎn)生熱分解等問(wèn)題，是表 面活性劑隨溫度變化而變化的正常現(xiàn)象，待恢復(fù)到室溫其顏色又將復(fù)原。

6、包裝
采用專(zhuān)業(yè)化工 HDPE 塑料桶而決不使用鐵桶或鍍鋅桶，以避免對(duì)芯片產(chǎn)生離子污染。 200 升和 25 升；
7、注意事項(xiàng)
與強(qiáng)氧化劑和酸不兼容。
8、儲(chǔ)存和運(yùn)輸
由于此清洗劑無(wú)毒無(wú)刺激不易燃，可按普通化學(xué)品運(yùn)輸和存放。 置于陰涼干燥通風(fēng)的室內(nèi)，密封儲(chǔ)存, 每次開(kāi)啟后都要密封好； 避免強(qiáng)氧化劑、酸、高溫環(huán)境、太陽(yáng)光直照、雨淋等，遠(yuǎn)離火源。
9、有效期 在原始包裝條件下其有效期為一年 。